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SEM掃描電鏡能測(cè)出線寬的真實(shí)長(zhǎng)度嗎?

日期:2024-06-27 09:33:56 瀏覽次數(shù):140

掃描電鏡能夠測(cè)出線寬的真實(shí)長(zhǎng)度。但要實(shí)現(xiàn)這一功能,需要滿足一定的條件和步驟:

SEM掃描電鏡設(shè)備的應(yīng)用:掃描電鏡自問(wèn)世以來(lái),已成為許多科學(xué)和工業(yè)領(lǐng)域的重要研究工具。特別是在半導(dǎo)體行業(yè),SEM掃描電鏡的定量應(yīng)用主要體現(xiàn)在測(cè)量或計(jì)量上。隨著技術(shù)的發(fā)展,CD-SEM(Critical Dimension Scanning Electron Microscope,關(guān)鍵尺寸掃描電子顯微鏡)已被用作半導(dǎo)體加工生產(chǎn)線上的主要測(cè)量工具,用于監(jiān)控生產(chǎn)過(guò)程。

掃描電鏡.jpg

測(cè)量步驟:

標(biāo)定尺度:在掃描電鏡下選擇一個(gè)需要測(cè)量的對(duì)象,如線寬。然后,在掃描電鏡軟件中打開(kāi)測(cè)量工具,并選中“標(biāo)尺”或“標(biāo)度”工具。在圖像中選擇一段已知長(zhǎng)度的線段,并在軟件中設(shè)定其實(shí)際長(zhǎng)度。根據(jù)已知長(zhǎng)度和圖像顯示的長(zhǎng)度計(jì)算出比例系數(shù)。

選擇測(cè)量工具:使用主流的掃描電鏡軟件提供的線段長(zhǎng)度測(cè)量工具,根據(jù)已進(jìn)行的標(biāo)度尺尺度標(biāo)定得到實(shí)際長(zhǎng)度值。

設(shè)置參數(shù):根據(jù)需要設(shè)置分辨率、照射電壓、放大倍數(shù)和顯示單位等參數(shù)。這些參數(shù)的選擇會(huì)影響測(cè)量的精度和效率。

進(jìn)行測(cè)量:在圖像中選擇需要測(cè)量的部位,進(jìn)行測(cè)量并記錄結(jié)果。

測(cè)量精度:大部分SEM掃描電鏡實(shí)驗(yàn)室對(duì)于納米尺寸的準(zhǔn)確測(cè)量要求可能不那么嚴(yán)格,例如線寬或顆粒大小的具體數(shù)值(如105nm或95nm)可能不是*重要的。但在半導(dǎo)體領(lǐng)域,這樣的誤差是不可接受的。因此,為了獲得更高的測(cè)量精度,需要選擇適合的掃描電鏡設(shè)備和測(cè)量方法,并進(jìn)行準(zhǔn)確的尺度標(biāo)定和參數(shù)設(shè)置。

綜上所述,SEM掃描電鏡能夠測(cè)出線寬的真實(shí)長(zhǎng)度,但需要滿足一定的條件和步驟。在半導(dǎo)體等領(lǐng)域,通過(guò)使用CD-SEM等高精度設(shè)備和方法,可以獲得更加準(zhǔn)確和可靠的測(cè)量結(jié)果。

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