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SEM掃描電鏡有哪幾種工作模式?

日期:2024-06-26 10:03:53 瀏覽次數(shù):160

SEM掃描電鏡具有多種工作模式,以滿足不同樣品和分析需求。以下是常見的幾種工作模式及其特點(diǎn):

高真空模式:

基本工作模式,樣品和檢測器被置于高真空環(huán)境中。

適用于大多數(shù)樣品觀察和分析,尤其是固態(tài)樣品。

提供清晰的圖像和較高的分辨率。

掃描電鏡.jpg

低真空模式:

允許在較高的氣壓下進(jìn)行觀察,無需對樣品進(jìn)行涂覆或處理。

適用于非導(dǎo)電樣品、生物樣品、濕潤樣品和松散樣品等。

提供更高的樣品適應(yīng)性,并減少電子束與氣體相互作用產(chǎn)生的充電效應(yīng)。

透射電子顯微鏡模式(TEM模式):

某些SEM設(shè)備具備此模式,允許使用透射電子探測器進(jìn)行樣品的透射電子顯微觀察。

提供更高的分辨率和更詳細(xì)的樣品內(nèi)部信息,適用于納米級(jí)別的結(jié)構(gòu)和成分分析。

掃描透射電子顯微鏡模式(STEM模式):

將電子束掃描到樣品上,同時(shí)收集透射電子的散射信號(hào)。

用于樣品表面的高分辨率成像和元素分析,在高分辨率成像和原子級(jí)結(jié)構(gòu)分析方面具有很高的能力。

分析模式:

SEM可以與各種分析技術(shù)結(jié)合使用,如能量色散X射線光譜(EDS)和電子背散射衍射(EBSD)。

用于獲取樣品的化學(xué)成分、結(jié)晶結(jié)構(gòu)、晶格取向等信息。

成像模式:

電子束從電子槍發(fā)射出來后,經(jīng)過聚焦系統(tǒng)聚焦到一個(gè)小的點(diǎn)上,這個(gè)點(diǎn)稱為激發(fā)點(diǎn)。

電子束從激發(fā)點(diǎn)掃描樣品的表面,與樣品相互作用后產(chǎn)生的信號(hào)被探測器捕捉到,從而獲取樣品表面的形貌信息。

具體的成像模式:

次外殼成像模式(SEI):研究樣品表面形貌特征,如表面粗糙度、形態(tài)等。

高角度底層成像模式(BSE):觀察帶有原子序數(shù)反比于信號(hào)強(qiáng)度的圖像,用于研究材料表面顯微組織結(jié)構(gòu)。

散射電子成像模式(SED):顯示材料組織結(jié)構(gòu)、缺陷、晶界面等信息。

反射電子成像模式(RSE):改變電子束的入射角度,得到自然的反相成像,用于材料表面缺陷的直接觀測。

每種工作模式具有不同的優(yōu)勢和適用范圍,具體的選擇應(yīng)根據(jù)樣品類型、所需分辨率、分析目的和設(shè)備功能來確定。在使用掃描電鏡之前,建議參考SEM掃描電鏡制造商的指南和技術(shù)規(guī)格,以了解具體設(shè)備的工作模式和操作方法。

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