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SEM掃描電鏡無圖像故障的原因以及解決辦法介紹

日期:2024-06-19 09:18:45 瀏覽次數(shù):182

掃描電鏡無圖像故障的原因及解決辦法可以歸納如下:

原因分析

電源控制系統(tǒng)故障:

表現(xiàn)為掃描電鏡停機(jī)后再開機(jī)無反應(yīng),SEM掃描電鏡各指示燈均不亮。

具體原因可能是電源控制部分出現(xiàn)故障,如保險絲燒壞、隔離變壓器損壞等。

掃描電鏡.jpg

高壓系統(tǒng)故障:

表現(xiàn)為燈絲無法開啟。

可能原因是高壓箱未識別,高壓箱上沒有電壓輸入。

光學(xué)系統(tǒng)問題:

掃描電鏡的光學(xué)系統(tǒng)包括電子透鏡和掃描線圈,如果其中任何一個部件出現(xiàn)問題,都可能導(dǎo)致無法顯示圖像。

探針電流問題:

SE2模式需要足夠的探針電流來產(chǎn)生圖像,如果探針電流不足,可能會導(dǎo)致無法顯示圖像。

檢測器問題:

SE2模式的檢測器通常是反射電子檢測器,如果檢測器出現(xiàn)問題,可能會導(dǎo)致無法顯示圖像。

信號處理問題:

SE2模式的信號需要通過放大器和信號處理電路來處理和顯示,如果這些電路出現(xiàn)問題,可能會導(dǎo)致無法顯示圖像。

儀器操作和環(huán)境因素:

如放入的樣品受潮或送樣桿污染引起樣品交換室發(fā)生稍微漏氣,導(dǎo)致抽真空速度很慢。

顯微鏡鏡頭可能出現(xiàn)問題,如鏡頭污染或損壞。

解決辦法

電源控制系統(tǒng)故障:

檢查保險絲并更換。

檢查隔離變壓器,如損壞則更換或接入220V交流轉(zhuǎn)24V直流的開關(guān)電源。

高壓系統(tǒng)故障:

檢查高壓箱的光纖和電源輸入部分。

更換或修理高壓箱供電的開關(guān)電源。

光學(xué)系統(tǒng)問題:

清潔或更換電子透鏡和掃描線圈。

探針電流問題:

檢查探針電流是否正確,并調(diào)整至適當(dāng)值。

檢測器問題:

清潔或更換檢測器。

信號處理問題:

檢查放大器和信號處理電路,修理或更換損壞的部件。

儀器操作和環(huán)境因素:

取出樣品,用紅外燈烘烤,檢查抽真空速度。

清潔送樣桿,并涂上真空油脂。

檢查sem掃描電鏡鏡頭,如有污染或損壞則進(jìn)行清潔或更換。

以上內(nèi)容僅作為參考,具體故障分析和解決辦法需要根據(jù)實(shí)際情況進(jìn)行,建議咨詢專業(yè)的技術(shù)人員或參考相關(guān)操作手冊。

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